有效测量行程(X*Y) ：800 mm×600 mm   6050   1210   1510  2515  等尺寸均有现货

Z轴调焦升降范围：200mm

Z轴测量行程：200mm

分辨率：0.0005mm

X、Y轴坐标示值误差：U≤(3+L/200)μm

Z轴坐标示值误差：U≤(6+L/150)μm

玻璃台尺寸：940mm×694 mm

承载重量：≤30 kg

影像系统： 日本原装进口SONY CCD 彩色高分辨率工业摄像机CCD， 700TV线

物镜：美国NAVITAR 变倍镜头可连续变倍光学放大倍率0.7×-4.5×

视频总倍率约：20X～180X,

物方视场：10.6-1.6mm，工作距离90mm

光栅尺：英国RENISHAW贴片式光栅尺 高精度精密光栅尺,分辨率0.0005mm

照明系统：程控可调LED表面光和底光

导轨：台湾HIWIN高精度直线导轨

传动方式：X、Y、Z轴均采用伺服电机驱动光杆传动的型式

操作方式：日本松下伺服电机 三轴运动速度：100mm/s 三轴定位精度：0.001mm

主机外形尺寸：1470mm×965mm×1675 mm

机台底座：高精度花岗岩精度00级

仪器总重：约1200kg